CVD/PECVD 腔体核心备件一站式供应商

精密制造 驱动芯未来

深圳祺璞半导体有限公司专注静电卡盘(ESC)、喷淋头(Showerhead)、阻隔板、抽气衬管、气箱加热器、冷却板、气体分配箱等半导体制造设备核心零部件的研发与精密制造,为全球半导体工艺设备提供高性能、高可靠性的关键组件。

2013
成立年份
9
核心产品线
12"
最大晶圆兼容
100%
自主产权
关于祺璞

深耕半导体设备零部件领域

深圳祺璞半导体有限公司成立于2013年,是一家专注半导体制造设备核心零部件研发与制造的高科技企业。公司总部位于深圳市宝安区,拥有完善的精密加工和检测能力。

我们的产品涵盖静电卡盘(ESC)、喷淋头(Showerhead)、阻隔板、抽气衬管、气箱加热器、冷却板、气体分配箱等半导体工艺设备的关键零部件,形成腔体核心部件、热管理、气路与控制三大产品体系,广泛应用于刻蚀、CVD、PVD、光刻、离子注入等核心工艺环节,为半导体制造企业提供高精度、高可靠性的解决方案。

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核心产品

产品矩阵

核心产品

静电卡盘 ESC

采用Johnsen-Rahbek (JR)型静电吸附技术,为晶圆提供均匀、稳定的吸附力,兼容12英寸晶圆(支持定制),适用于刻蚀、CVD、PVD等工艺。

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旗舰产品

喷淋头 Showerhead

CVD/PECVD反应腔核心部件,精密微孔阵列均匀分布工艺气体,兼容150–300mm晶圆,多种材质与涂层方案,按图纸定制。

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热管理

气箱加热器

用于加热工艺气体输送管路及气体分配盘(Showerhead),防冷凝、稳物性、补偿热损,IP65防护,按图纸定制。

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热管理

冷却板 Chiller Plate

埋铜管/精密铣削流道两种结构,高精度温控10~150°C,抑制腔壁沉积,定制流道布局与介质类型。

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气路与控制

气体分配箱 Gas Box

设备端气路集成单元,1–24路灵活配置,从气路设计、洁净组装到整体测试一站式交付。

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一站式

腔体备件四件套

静电卡盘 + 喷淋头 + 阻隔板 + 抽气衬管,反应腔核心备件一站式配齐,另含密封件、真空泵配件与定制加工。

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核心优势

为什么选择祺璞

自主研发

核心技术与知识产权完全自主,持续投入研发,不断突破半导体设备零部件的关键技术壁垒。

精密制造

配备高精度加工设备和检测仪器,严格执行质量控制标准,确保每个零部件达到微米级加工精度。

定制方案

根据客户工艺需求提供定制化解决方案,从设计到交付全程技术支持,快速响应客户需求。

品质保障

建立完整的质量管理体系,从原材料到成品出厂全程可追溯,每一件产品都经过严格检测。

携手祺璞,共赢芯未来

无论您需要标准产品还是定制方案,我们的技术团队随时为您服务

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