CVD/PECVD 腔体核心备件一站式供应商 — 为刻蚀、沉积、光刻等工艺提供高性能零部件解决方案
反应腔里的关键件，一站式配齐 — 静电卡盘 · 喷淋头 · 阻隔板 · 抽气衬管
自研 Johnsen-Rahbek（JR）静电卡盘，高品质陶瓷精密加工——吸附均匀性、温控精度与耐等离子体腐蚀能力，直接关系制程良率。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 兼容晶圆尺寸 | 12英寸（支持定制） |
| 吸附方式 | Johnsen-Rahbek (JR) 型 |
| 陶瓷材质 | Al₂O₃ + AlN |
| 工作温度 | RT ~ 400°C |
| 吸附力 | 5 ~ 30 kPa |
| 温区数量 | 多温区（按需定制） |
| 耐等离子体腐蚀 | 耐含氟/氯等离子体 |
※ 更多技术参数及定制方案请联系我司获取
微孔阵列精度与面型质量直接决定薄膜沉积均匀性，PECVD 中兼作上电极；高纯石英/镍基合金可选 SiC 涂层、硬质阳极氧化，兼容主流 CVD/PECVD/ALD 平台，按图纸定制。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 适用工艺 | CVD / PECVD / ALD |
| 兼容晶圆尺寸 | 150mm – 300mm（6–12英寸） |
| 主体材质 | 高纯石英 / 镍基合金 / 铝合金 |
| 表面处理（可选） | SiC涂层 / 硬质阳极氧化 / 专用功能涂层 |
| 工作温度 | 最高 800°C（石英款） |
| 定制支持 | 按图纸定制，兼容主流机型 |
※ 更多技术参数及定制方案请联系我司获取
喷淋头气室内预匀化部件：开孔布局整流气流、改善膜厚均匀性，屏蔽上游颗粒、降低微缺陷；铝合金/镍基合金，硬质阳极氧化或镀镍，符合 SEMI 标准。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 适用工艺 | CVD / PECVD |
| 主体材质 | 铝合金 / 镍基合金（一体式结构） |
| 表面处理（可选） | 硬质阳极氧化 / 镀镍 |
| 工作温度 | 最高 400°C |
| 洁净交付 | 符合 SEMI 标准，Class 100 洁净级 |
| 定制支持 | 开孔方案按工艺需求定制 |
※ 更多技术参数及定制方案请联系我司获取
排气通道流线型衬管：优化抽气流场、隔离腐蚀性气体，减少副产物沉积、延长维护周期；石英/陶瓷/YSZ 选型，模块化快换，兼容 CVD/PECVD/Etch 平台。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 适用工艺 | CVD / PECVD / Etch |
| 材质选型 | 石英 / 陶瓷 / YSZ |
| 耐温上限 | ≤1200°C（长期，石英款） |
| 洁净等级 | ISO Class 1 |
| 安装方式 | 点接触 / 卡槽式（模块化快拆） |
| 表面状态（可选） | 抛光 / 喷砂 |
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控得住温度，才控得住工艺 — 气箱加热器 · 冷却板
维持气体温度高于露点，防冷凝堵塞、补偿长距离输送热损失；环形结构，接口与尺寸按腔体定制，粘贴式/缠绕式安装。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 适配腔体尺寸 | 12英寸（支持定制） |
| 结构形式 | 环形加热器 |
| 加热元件类型 | 电阻加热丝 |
| 基体材料 | 不锈钢(304/316) / 铝合金 |
| 温度范围 | RT ~ 200°C |
| 长期耐温 | 250°C |
| 安装方式 | 粘贴式 / 缠绕式 |
| 防护等级 | IP65 |
| 安装接口 | 按客户图纸定制 |
※ 更多技术参数及定制方案请联系我司获取
快速均匀降温与高精度温控，抑制腔壁副产物沉积；铝合金埋铜管与精密铣削流道两种结构，流道与冷却介质按工艺定制。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 温度范围 | 10°C ~ 150°C（高精度温控） |
| 冷却介质 | 去离子水（DIW）/ 水乙二醇混合液 |
| 基板材料 | 铝合金 / 不锈钢 / 无氧铜 |
| 表面处理（可选） | 化学镀镍 / 阳极氧化 |
| 接口标准 | VCR / NPT / UQD 等，按机型配置 |
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从气源到腔室的稳定输送 — 气体分配箱 · 旁通阀
集成流量控制、阀门、过滤与压力监控的气路枢纽；提供设计、洁净组装到整体测试一站式交付，铝合金/不锈钢箱体多通道配置。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 通道配置 | 1 – 24 路，按需灵活配置 |
| 箱体材质 | 铝合金 / 不锈钢 |
| 管路标准 | 超高洁净级不锈钢管路 |
| 安全配置（可选） | 泄漏检测 / 紧急切断阀 |
| 交付能力 | 气路设计 – 洁净组装 – 整体测试一站式 |
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并联主气路，用于工艺路径切换与安全冗余保护；316L 锻造阀体，Viton®/Kalrez®/PTFE 密封多选型——高密封、低泄漏、长寿命。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 阀体材质 | 316L 不锈钢 / 铝合金 |
| 密封材质（可选） | Viton® / Kalrez® / PTFE |
| 工作压力 | 真空 ~ 10 bar |
| 工作温度 | -50°C ~ 200°C |
| 连接方式 | VCR / Swagelok / 法兰 |
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半导体设备专用高真空密封件，采用耐高温、耐腐蚀材料制造，确保工艺腔体气密性。
半导体设备真空系统配件，包括泵体配件、阀门、管道接头等，兼容主流真空泵品牌。
根据客户图纸和工艺需求定制各类半导体设备精密零部件，提供从设计到制造的一站式服务。